主要规格及技术指标

纵向扫描范围≥20mm，单一模式扫描，150um范围内分辨率0.1nm；
重复性＜0.01nm；
扫描速度≥34um/s；
CCD摄像头分辨率：1024x1024；
台阶测量：准确度：≤0.1%；
样品台大小200x200mm；
移动范围150x150mm。

主要功能及特色

设备采用非接触式白光扫描干涉原理，进行精密、快速、3D表面测量。主要用于各种复杂农机构件、表面蒙皮等的表面面形、表面粗糙度、和台阶高度及曲率半径的校准和检测。适用于各种材质。

主要附件及配置

无